ETQMEngineering Technology and Quality Management2995-31702992-9806Art and Technology10.61369/ETQM.2026020020Article多晶硅设备管道腐蚀防护技术实践探索https://artdesignp.com/journal/ETQM/4/2/10.61369/ETQM.2026020020杨月龙2026422026-02-20多晶硅作为光伏、半导体等高端产业的核心原材料，其生产过程涉及氯硅烷、盐酸、氢气等多种腐蚀性介质，设备管道腐蚀问题直接影响生产连续性、产品质量及运营安全。本文基于多晶硅生产工艺特点，深入分析设备管道腐蚀的主要类型及成因，重点探讨材料选型优化、涂层防护、阴极保护、工艺优化及腐蚀监测等核心防护技术的实践应用效果，结合生产场景提出防护技术体系的优化方向，为多晶硅行业提升设备管道腐蚀防护水平、降低运维成本提供实践参考。多晶硅,设备管道,腐蚀防护,材料选型,涂层防护,腐蚀监测

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